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水冷板燒結(jié)夾具的選用原則

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2024-02-29 09:53:50

水冷板燒結(jié)夾具的選用準則
    水冷板燒結(jié)夾具、VC均溫板載具等熱工裝備是制作半導體芯片的重要東西,其選用準則直接影響到生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。因而,正確選用這些裝備是制作過程中的重要環(huán)節(jié)。
    水冷板燒結(jié)夾具是用于將硅片固定在加熱設備上的東西,其選用準則首要包括以下幾個方面:
    1.耐高溫性:水冷板燒結(jié)夾具需求具有較高的耐高溫性,以確保在高溫下不會發(fā)生變形或損壞,影響固定效果。
    2.均勻性:水冷板燒結(jié)夾具的導熱性能要好,以確保硅片在加熱過程中溫度均勻分布,避免因溫度不均而產(chǎn)生熱裂解等問題。
    3.強度和剛性:水冷板燒結(jié)夾具需求具有一定的強度和剛性,以確保在加壓或減負過程中不發(fā)生彎曲或變形,保持硅片的平整度。
    4.重復運用性:水冷板燒結(jié)夾具應具有杰出的重復運用性,以便于多次運用,降低生產(chǎn)成本。
    5.易于清潔和保護:水冷板燒結(jié)夾具的結(jié)構(gòu)應簡略、易于清潔和保護,以確保生產(chǎn)過程中的衛(wèi)生和設備正常運轉(zhuǎn)。

水冷板燒結(jié)夾具

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